第205章 ASML來自華國的技術震撼
第205章 ASML來自華國的技術震撼
八斤二兩,好傢夥,剛出生的小趙都不帶抬頭紋的,雪白粉嫩。
可折騰死他媽了,從發動到生下來,用了十二個小時。
趙國慶心疼的不得了,看著楊青的頭髮都被汗水浸濕了。
趙國慶不無埋怨的跟趙母說:「媽,看你幹的好事!」
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營養過剩,這孩子能不胖嘛。
趙父站在旁邊,手忍住沒呼上去,你幹的好事,關你媽什麼事……
好吧,好在母子平安,趙國慶抱著兒子,心底湧出莫名的感覺。
他有兒子了……
……
作為ASML第二大股東,惠生國際是有投票權的,自然可以在決策上對ASML有一定的影響。
在惠生國際的協調下,102所派出技術人員,帶著102所最新的透鏡,與氟化氪大功率246納米雷射器。
趙國慶問:「ASML那邊現在什麼態度?」
梁進說:「同樣的技術,他們選擇更便宜的,同樣的價格,他們選擇技術更先進的?!」
趙國慶說:「他們要是真能做到就好了!」
梁進說:「ASML的董事會,我們有16%的投票權,如果我們的技術更強,他們沒有理由不用!」
趙國慶點點頭,ASML願意給102所合作的機會已經不錯了。
張傳敬、魏志浩等人是第一次出國,這次乘坐國航的航班直飛荷蘭阿姆斯特丹。
在阿姆斯特丹國際機場,ASML派國際商貿經理朱利安·貝內特烏接待了華方代表。
而坐落在菲爾德霍豐的ASML中心研究室,首席技術官斯科蒂·貝克特對華方102所代表團的到來不以為意。
他的助手卡爾·肖萊馬說:「或許華國人只是想通過此舉獲得ASML光刻機的出口許可,對我們ASML來說,這是一件好事!」
斯科蒂點點頭,他討厭巴統,討厭一切限制……
美國的西盟科技,全世界最頂尖的雷射器提供商,目前ASML246納米光源的提供商。
德國的卡爾蔡司,世界頂尖的高精度鏡頭提供商,目前ASML石英光路鏡頭的提供商。
技術部還有德國威爾姆海米勒精密加工製造廠的技術人員,米蘭大學、劍橋大學,海姆特朗大學,柏林大學的研究團隊……
他們都是ASML的合作夥伴。
當然,有他們存在,並不妨礙ASML驗證華國的技術,事實上,ASML現在的理念就是,整合世界上最先進的技術,應對來自日本的挑戰……
……
對張傳敬一行來說,雖然ASML的接待不怎麼樣,但到了他們的研發中心,可以在第一時間感受到ASML科研人員的嚴謹。
102所已經向ASML提供了技術指標,而斯科蒂雖不相信,但還是按照程序來檢測。
一塊直徑10CM的圓形平板透鏡,可以展現102所的加工技術。
斯科蒂說:「張先生,伱們提供的技術指標是平面誤差在50納米以內,在這裡,很容易就知道能不能達到這個技術指標。」
假設將這塊石英平面放大到地球那麼大,而這個誤差相當於平面上一個桌球大小的凸起。
卡爾蔡司技術經理蘇瑞·克魯斯搖搖頭,即便是卡爾蔡司也做到如此程度的精度,華國人要麼在說謊,要麼,他們已經找到最新的打磨技術……
蘇瑞說的沒錯,離子束打磨技術在這個時候也才是剛起步,在精密打磨上面,確實可以將精度提升一個數量級,比起卡爾蔡司普遍使用的磁流體打磨,可控的精度更高……
鏡片的檢測要簡單的很多,跟很多微結構需要電子顯微鏡來觀測不一樣,鏡片的檢測只需要一簇雷射掃描整個平面,同過光的反射,可以將表面的瑕疵放大上萬倍。
很快,助手肖萊瑪拿著檢測報告,一路說著上帝,難以置信,一邊把報告遞到斯科蒂手上。
「他們做到了……」
蘇瑞看著報告,亦是搖搖頭。
「華國在打磨鏡片上面的技術超越了卡爾蔡司?」他搖搖頭,很不明白。
「為什麼華國的軍方還向卡爾蔡司求購光學瞄準鏡?」
而此時雷射研究室高級技術員珍尼·歐嘉納斯也走過來,向斯科蒂遞交了關於華國氟化氪雷射器的報告。
斯科蒂看了每一項數據,光闌,光束整形及光束診斷大小閾值,脈衝穩定等數據一流,但更讓他覺得不以思議的是,華國的氟化氪雷射機的功率可以達到36kw,而美國西盟科技提供的雷射器功率只有18kw,這已經是歐美的最高水平了。
而日本人可以把雷射器做到20kw。
晶片生產的商業化,效率優先,光刻過程中,雷射的功率越高,曝光的效率越高,功率足夠的話,一個雷射脈衝就可以完成光刻過程,而功率不夠,則需要兩個,甚至三個雷射脈衝。
雖然一個脈衝只有幾微秒,而一塊晶圓上有成千上萬個晶片,累積起來時間就可觀了。
斯科蒂很快覺察到,要是將華國的雷射器用在ASML的光刻機上,ASML的光刻機將在與日本尼康、佳能的競爭中獲得優勢。
至於美國的西盟科技,只有被拋棄的命運了……
斯科蒂在第一時間打電話給ASML總裁維克多·雷澤諾夫先生。
斯科蒂說:「他們的數據很真實,華國在雷射器和透鏡上面,已經超越了我們,維克多總裁,我們需要華國的技術……」
「……」
維克多搖搖頭,沒有說話,一個很實現的問題,在惠生國際提出華國提供技術的時候,ASML的董事會已經討論過了,因為246納米光刻機在巴統對華禁售的目錄里。
但除了惠生國際的代表,其餘所有人都不認為華國的雷射器與透鏡能趕上歐美,事實上大家都是嘴上支持,到時候賣點PA3000,PA2000這些老掉牙的光刻機意思一下罷了。
他苦笑道:「如果華國提供了246納米光刻機的關鍵技術,而他們卻不能買ASML的246納米光刻機,你說他們還會願意提供這些技術嗎?」
「……」
斯科蒂搖搖頭說:「他們解決了雷射器,解決了透鏡,這離他們製造出246納米光刻機還有多遠?維克多先生,該跟那些老爺們說說,現在的形勢變了……」
(還有更新耶)