第49章 捅破一層窗戶紙

  第49章 捅破一層窗戶紙

  第一次進入清大光刻機車間，趙國慶有些激動，直接直奔主題，幾個關鍵技術。

  「何教授，你們這光刻機用的什麼光源？」

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  「你還真懂光刻機啊！」

  趙國慶笑了笑：「書上有介紹！」

  何振華說：「用的高壓汞燈光源，436納米的藍光汞g線，這類高壓汞燈光源目前已經達到國際先進水平！」

  好吧，國際先進水平，國際上十年前都已經開始研究波長更短的紫光雷射電源了。

  趙國慶想起KMBBF晶體，前世的他發現KMBBF晶體在零下213攝氏度的時候，出現超導現象。

  就在他用x光穿透KMBBF晶體，想要檢測KMBBF晶體的分子結構時，發現進入超導狀態的KMBBF晶體，竟然可以反射X光。

  這可是了不得的發現。

  X光因為有強大的穿透力，目前任何透鏡都不能讓他轉移方向，而KMBBF晶體如果能讓X光反射的話，可以通過凹面鏡，縮小掩膜版的圖像，對光刻機光源有著顛覆的變革。

  可惜的事，發現這件事後，沒多久就掛了，沒有再研究下去。

  不過，現在，他有足夠的時間繼續這項研究。

  何振華教授繼續介紹，從口氣中聽出的，全部是遙遙領先。

  「採用的是國際先進的非接觸式透鏡曝光方法，成像質量高，比起三年前H大製作的接觸式曝光，可以顯著提高掩膜版的使用壽命，並且透鏡曝光可以以掩膜版比光刻圖案5:1的比例，可以製造更複雜的晶片。」

  趙國慶點點頭，他雖然對光刻機算不上內行，但怎麼也能說是見多識廣。

  Intel、IBM的晶片製造廠他都進去過，從九十年代一直到2023年，國外光刻機一路演變，他還是清楚的。

  「436納米的藍光汞g線光源，加上非接觸式掩膜曝光工藝，理論上可以製造一微米製程的晶片！」

  若採用多重曝光甚至可以製造500納米製程的晶片，或者水膜浸潤工藝，當然技術難度更高一些，極致可以製造250納米晶片，這些話沒辦法說。

  至於用九十年代發明的KBBF晶體升級極紫外光，還有雙工台提升商用製造效率，現在還是沒影的事。

  能不能現在開始布局？

  沒說的，肯定要干啊！

  趙國慶的問題，何振華教授沒有回答，而趙國慶也發現了一些問題。

  「校準採用的是人工校準！」

  光刻流程不是一步到位，有時候需要反覆多次，所以再次光刻，位置如果有細微的改變，往往意味著製造失敗，所以需要校準。

  而校準的辦法就是在晶片上留下一個標誌，以這個標誌來校正。

  何振華搖搖頭。

  「國內最先進的魔都電機廠都沒有合適的伺服電機，國內的光壓傳感器靈敏度不夠，只能用人工校準，我們採用三軸人工校準裝置，誤差可以精確在一百納米。」

  趙國慶搖搖頭，這台光刻機根本沒有商業方面的使用前途，XYZ三軸人工校準，雖然沒看他們操作，時間上肯定不會短。

  「光刻膠，蝕刻氟化氫……」

  「進口日本的？」

  「曝光用的透鏡呢！」

  「進口日本尼康！」

  好吧，趙國慶大概也明白了。

  「之所以沒辦法製造一微米製程的晶片，是不是因為電晶體連接的鋁導線的原因？」

  何振華驚訝的看向趙國慶，這事他可一點也沒有向趙國慶透露。

  高昌明亦是長嘆，這小趙一次又一次刷新他的認知。

  看看何振華的表情就明白了，第一次見面的時候，是高高在上的姿態，今天呢，已經把趙國慶當成一個平等對待的人了，而現在，似乎稍微帶著一點仰視。

  「你怎麼知道的？」

  趙國慶若無其事的說道：「光源、透鏡、校準，還有膠體、蝕刻材料都沒有問題，那只能是電晶體鋁互聯發生了問題，誰都知道，矽襯底跟金屬鋁會發生擴散，製程越小擴散越嚴重，直到不能工作！」

  「我如果猜的沒錯的話，你們三微米，甚至五微米製造的晶片，恐怕也不能實現設計的頻率吧！」

  「……」

  誰都知道，為什麼我就不知道，高昌明很無語。

  「你怎麼知道的？」

  趙國慶說：「何教授，你可以翻一下1974年《微電子行業》期刊，上面就有介紹！」

  「……」

  知道了癥結，要解決就容易了，趙國笑著對何振華說：「何教授，我有辦法，你信嗎？」

  「你有辦法？」

  「加一層隔離金屬層就行！」

  用一層金屬層將鋁與矽隔離開來，隔絕彼此擴散。

  何振華搖搖頭說：「我們也想著用一層金屬隔離層，但還沒有找到合適的材料！」

  有時候就是這麼扯淡，很多時候，就因為一個小東西，阻擋技術進步多年，等到公開後，才發現，特麼的就是一個屁。

  「何教授，試一試用鎢，上次你做發光半導體用的金屬原子蒸餾器就可以，晶片上矽襯底上，先沉積一層鎢薄膜，再上鋁導線層。」

  「真的能行？」

  何振華眼睛直直的看向趙國慶，要是真能行的話，直接從五微米製程，進展到一微米製程，這意義，不可謂不大。

  高昌明也坐不住了。

  「國慶，科技部剛剛發的文件，要鞏固五微米，攻關三微米，邁步一微米製程，你這不咸不淡的一句話，科技部發的文倒成了笑話了。」

  「有這文件？我還以為我們可以生產一微米製程的晶片呢？」

  「……」

  何振華搖搖頭。

  「也不費事，設備都有，試試看吧！」

  …………

  趙國慶長呼一口氣，能幫的也就這麼些了，不過這些透鏡、光刻蝕刻材料都是日本進口的，也是挺讓人憂慮的。

  還有就是工藝自動化，如果不解決，光刻機項目永遠沒辦法商用，也就是說永遠沒有自動造血能力。

  趙國慶跟高昌明說：「高所長，如果有可能的話，14所還是要進幾台尼康的光刻機。」

  現在的ASML還是個小弟，最先進的還屬日本的光刻機，能搞幾台進行逆向工程，積累一些技術基礎，還是很有必要啊！

  （還有更新耶）