第475章 密室失敗事件

  上午九點多，韓路一從起源集團的總部大樓出來，走著來到了冰芯的廠區。

  上次見過一面的工藝負責人丁耀先帶著兩個人正等在廠區的門口。

  看到韓路一獨自一人走著過來，車都沒坐，秘書、助理也沒跟著，丁耀先的臉上冒出了一絲詫異，然後又是一絲無奈。

  產線的問題正是焦頭爛額的時候，加班加點都解決不了，這個合作夥伴的大老闆偏偏要這個時候來看產線。

  這是什麼，高規格的商業旅遊嗎?

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  丁耀先只覺得麻煩。

  怪不得廖總出差去了，讓我來接待。

  等到韓路一走近，丁耀先已經整理好了表情，招呼道：「韓總，早啊。」

  「丁工早，好久不見。廖總不在啊?」韓路一問道。

  「廖總出去談技術支持的事情了，讓我來接待您一下。」

  韓路一瞭然，這個產線上的問題對冰芯來說確實是重中之重，現在內部解決不了，廖伯韜想著請外援呢。

  至於韓路一，他可沒指望能靠韓路一來解決問題。　　丁耀先帶著韓路一先去辦公區簽了厚厚的一疊補充保密協議，然後讓他把手機、手錶等各種電子設備都放進屏蔽櫃之後，幾人又穿過兩層門禁，走進生產線區域前的更衣室。

  每個人都要在這裡換上連體的無塵服和無塵帽，看著就像是簡易版的太空衣。

  旁邊的丁耀先看著韓路一嘴唇上的一點兒血痂，不由得多看了一眼。

  韓路一尷尬地笑了笑，說道：「最近天氣乾燥，有點兒上火。」說完把口罩戴上，遮住了臉。

  丁耀先說了一句：「韓總，那您得多喝水啊。」然後私底下想道：最近天氣乾燥嘛?不是挺潮的嗎，廠房裡還得額外防潮。

  一段小插曲過去，幾人一起走進了整個晶圓廠最核心的區域——

  光刻黃光區。

  為了防止空氣中的自然光線讓原料光刻膠提前曝光，整個廠區全天二十四小時籠罩在特製的黃色人工光線之下。黃色光波長長，攜帶的能量小，不會讓光刻膠曝光。

  幾人一直走到一台巨大的工業設備面前停了下來。

  丁耀先開口道：「韓總您看，這就是我們產線的核心設備了，阿斯麥生產的tinscan nxt系列浸沒式v光刻機。」

  韓路一認真地點了點頭。

  其實韓路一哪懂這個。他對光刻技術完全是個門外漢。　　但是他今天來卻要解決冰芯的產線問題。

  「丁工，具體是什麼問題?」韓路一出聲問道。

  丁耀先指了指面前的幾台設備，說道：「症狀就是套刻誤差大，但是沒有任何規律，這幾個設備都出現過問題，又不是每次都會出現，有的時候連著十幾個批次都沒問題，突然冷不丁一出來，一批晶圓片就都廢了，太頭疼了。」

  他倒是寧願問題出在一個固定的機器上，哪怕機率再高點兒。

  這種隨機出現在各個產線的上的問題才最影響生產管理。

  「套刻誤差是什麼?」韓路一接著問道。

  丁耀先看了韓路——眼。

  不是，你連套刻誤差都不知道?是來幹什麼來著?

  但他知道這位韓總本職是做軟體出身，還是耐心地解釋道：「上次咱們講過，我們冰芯的七納米製程是通過多重曝光的技術實現的，一次曝光之後，要重新對齊，用新的圖案再曝光一次，這就是套刻。套刻之間的誤差要控制在納米級，不然出來的圖案就廢了。」

  聽到這，韓路一知道問題的棘手之處了。

  拼接本身是個問題，但更嚴重的問題是隨機出現。

  如果每次曝光都出問題，那說明拼接的算法不對，要打回去重做；可如果是隨機出現的話，就說明拼接的算法沒問題，那問題從哪來呢?　　韓路一開著視界掃了一圈。

  整個廠房各個物品的標籤都彈了出來。

  先是眼前的巨獸：

  【設備: asml tinscan nxt系列浸沒式v光刻機】

  【狀態：健康】

  【驅動軟體：asml原生驅動】

  旁邊的生產線：

  【設備：前道全自動塗膠顯影機】

  【狀態：健康】

  【驅動軟體：原廠驅動】

  看起來都沒什麼問題。

  旁邊的丁耀先又加了幾句：「韓總，您是不知道，能查的地方我們都查了，鏡片的溫差畸變、原料光刻膠的批次活性，甚至連旁邊有車輛路過的時候廠房的微震動都檢測了，全都沒有相關性。」　　說完他嘆了口氣：「出現了這種狀況，要是之前早就請原廠工程師來了，但是現在售後全都斷了，他們的工程師過不來不說，連遠程診斷也做不到。」

  聽起來就像是個密室殺人事件。

  如果硬體都沒問題的話，那就是軟體了?

  售後斷了，現在用的是什麼軟體?

  韓路一把心裡的疑問問了出來。

  「是我們自研的管理系統，但是已經用了快兩年了，肯定不是這的問題。」丁耀先一聽就明白了韓路一的意思，也有點兒不以為然。

  工業生產可不是網際網路產品，能用的東西都不會輕易變動。

  當初為了多重曝光的技術他們研究了這個作業系統，之後為了穩定性就沒動過。一個兩年沒動過的東西怎麼會突然出問題?

  韓路一又看了一會兒，突然出聲：「丁工，你們的監控室在哪啊，能去看看嗎?」

  丁耀先已經看出韓路一沒什麼頭緒了，心裡也不抱什麼希望。

  廠里幾十個半導體工程師，研究了半個月了都沒看出門道來，還能讓一個外行把問題解決了?

  他現在只想韓路一早點看完走人，他們好繼續排查。　　還好，監控室的密級並不比生產區更高。

  幾人又一起走進中央監控室，裡面有幾個值班工程師，每個人都顯得壓力重重。進門之後，韓路一指著旁邊的大屏幕說道：「管理系統的運行日誌能看到嗎?」

  他沒問光刻機的日誌，那個是設備加密的，連冰芯也看不到。

  丁耀先讓一個值班工程師把最近兩周的工作日誌調出來，然後對韓路一說道：「韓總，我們這個系統也是核心工藝的一部分，您是不能外泄的啊。」

  「丁工放心。」

  韓路——邊說著一邊打開了視界。

  眼前的日誌馬上被視界染上了不同的顏色。

  韓路一靜靜地翻著日誌記錄。

  這個日誌量極為龐大，生產管理系統管理的各個產線的光刻機在生產流程中產生的所有日誌都匯聚在一起，絕大部分都寫著【inf】級別，記錄著一些操作信息，只有極少數出現了【arn】和【errr】。

  丁耀先解釋道：「這裡我們也第一時間排查了，系統這裡看沒有對應的錯誤信息，肯定不是這的問題。」

  然後他看韓路一沒有說話，仿佛已經進入了非常專注的狀態，為了不打擾韓路一，乾脆閉嘴不說了，也沒有給其他人介紹韓路一的身份。

  幾個值班工程師看是丁耀先親自帶進來的人，還是一進來就看日誌，也不知道發生了什麼，只是分出些餘光看向這裡，偷偷關注著。　　就這麼看了幾分鐘，韓路一突然開口問道：「上次出問題是今天凌晨?」

  他已經翻回了視界標出問題的第一個日誌，記錄上有一個時間戳為【02：07：33.129】的日誌被視界標紅了。

  丁耀先聽後猛然一驚，問道：「你怎麼知道?」

  他急得連敬稱都忘了用了。

  韓路一用手指著屏幕上的那行日誌，說道：「你看，這裡出錯了。」

  周圍的幾個工程師也早都圍了過來。

  此時屏幕上顯示的上上下下密密麻麻的日誌，都是【inf】級別的，沒有任何錯誤標出來。

  這個人怎麼就這麼篤定這齣錯了?

  過去兩周的時間，這工作日誌他們都不知道查了多少次了，也沒看出什麼問題來。

  旁邊一個負責維護自研系統的工程師不知道韓路一的身份，但是聽他這話，忍不住出聲道：「誒，你怎麼說話呢?這行日誌不是很正常嗎?狀態碼200，光刻機也正常接收了，沒有任何報錯信息。」

  聽這個工程師語氣不是很好，丁耀先正要喝止，韓路一倒是沒在意，直接說道：「通信是成功了，但是數值有偏差。」

  說完韓路一補充了一句：「不好意思，我操作一下。」然後用滑鼠鍵盤把那行日誌複製下來，放到旁邊的一個新建文檔里，又向上滾動，找到了另外幾條日誌，把裡面的內容複製了下來，依次粘貼在了文檔里。　　「這條日誌記錄的是對齊補償參數吧，1.341289，後面的單位是納米?」韓路一邊看邊問道。

  剛才反駁他的工程師看他這麼快速地就手動抓取了幾條日誌，感覺思路有點跟不上，正在專心讀日誌里的內容，沒有說話，倒是丁耀先回答道：「對，這是我們系統計算出的數值，下面那一行是光刻機給的回執，1.3413納米，因為光刻機的精度沒到0.1皮米這個級別，後面的數值就約掉了，韓總，您對——」

  剛解釋完，就聽見剛才說話的那個年輕工程師突然叫道：「不對啊，怎麼會是1.2呢? 」

  丁耀先話說到一半被打斷，轉頭看過去，只見那個工程師直勾勾地盯著屏幕上的日誌，丁耀先也順著他的目光看向屏幕。

  剛才他和韓路一討論的是之前的一段正常時間的輸入值和返回值。

  而韓路一第一次複製出來的，那個凌晨兩點，恰好是錯誤批次的輸入值和返回值，分別是1.299998和1.2000,丁耀先也馬上意識到問題了。

  差了將近零點一納米！

  對使用多重曝光技術來實現七納米的工藝來說，0.1納米的誤差，再經過幾次疊加放大，這麼大的偏差足夠直接導致晶圓片上的電路報廢了。

  這是怎麼回事?

  意識到發生了什麼的丁耀先趕緊對屋子裡的其他幾個人大聲說：「快！快把之前的事故記錄的時間找出來，找到對應的日誌，看看是不是都是這種情況！」

  單看今天凌晨的這一次，這個日誌已經足以證明這個問題會導致晶圓片報廢了，但是他們還要驗證之前的幾次是不是也是同樣的原因。

  監控室里的人都迅速行動起來，調出事故記錄，找到對應時間，翻找對應的日誌記錄。　　幾個人分開在幾台電腦上操作，幾分鐘之後，第一個人有了結果。

  「丁工，定位了，昨天晚上的那次失敗也有同樣的精度問題，0.999997被約成了0.9000! 」

  然後其他幾個人也都有了發現。

  「我這裡也找到了一個, 2.199999的返回值是2.1000! 」

  「我這裡也是！」

  很快他們就找到了七八條在失敗批次時間出現的記錄，都是同樣的精度丟失的問題。

  這下子基本上可以確定問題出在哪裡了。

  如果說一次是巧合，總不可能七八次都是巧合。

  接下來就是怎麼修的問題了。

  既然問題的規律已經找出來了，總有辦法解決，現在的補償值是管理系統通過光學測量儀器讀取之後直接送到光刻機的，光刻機的取近似出了問題，那就不讓光刻機來做這個工作好了，把補償值在管理系統里做好了再給光刻機，總不能再出類似的問題了?

  軟體團隊的負責人不在場，丁耀先先問了一句：「如果把取近似的功能提前到我們的系統里，你們覺得多快可以做完?」

  幾個軟體工程師面面相覷，都不敢給出答覆。　　這管理系統已經兩年沒動了，之前都是在維護，如果現在急著修，再修出更大的問題怎麼辦?

  更何況他們也做不了這個決定。

  現場陷入了一陣尷尬的沉默。

  丁耀先心裡又喜又急又氣，說道：「算了，我先匯報給廖總。」

  韓路一在突然插了一句：「如果不能馬上修這個問題，不如就先加個阻斷的邏輯，檢測到這個格式的數據就先不要進行曝光。」

  這是網際網路線上事故的處理流程。

  先止血，再修復，再找根本原因。

  其實生產上也是這個流程，只是丁耀先一時情緒激動，還沒想到。

  他看了韓路——眼，說道：「韓總，謝謝您了！」

  說完到旁邊拿起了一個固定電話。

  （還有更新耶）